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BGY-717

BGY-717
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一　適用範囲 

炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される 


二　製品特徴

 1.粒子径の均一性や分散性に優れる。

2．ダメージフリーの研磨加工面が得られる。 　

3．混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。

4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。

 

三　主要技術指標 

化学成分

コンテンツ

酸化セリウム

5－8％

脱イオン水

92－95％

その他

≦1％

　　　　　　　　　　　　　　　　

化学や物理的な指標

基準値

D50

80－120nm

PH値

2-3

色

赤い

 備考：上記データは顧客様の要求によって調整できる。

 

 四　包装・荷姿

 5㎏/bucket　　20㎏/bucket


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